시설·장비안내
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장비기본정보
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산업분류 | 기타 - | ||
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| 장비명(한글) | 핫필라멘트 CVD | |||
| 장비명(영문) | Hot Filament CVD | |||
| 모델명 | HFCVD | |||
| 제작사 | 바큠텍 | 수량 | 1EA | |
| 사용료 | 0 | 사용용도 | ||
| 주요사양 | 1) 챔버 - 챔버사이즈 : Ø500mm×340mm(H)이상 - 작업부사이즈 : 290mm×290mm×220mm(H)이상 - 가열시스템 : 2,300도(MAX) 이상 - 가스공급시스템 2) 파워공급장치 : EA-PSI 8000급 이상, DC 3) 진공펌프 : mechanical pump, 3×10-3torr 이상 4) 냉각장치 : 냉각용량 4RT(13.6Kw) 이상 |
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보유기관
| 기관명 | (재)광주테크노파크 | 담당자 | 유종진 |
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| 이메일 | Rnis7488@gjtp.or.kr | 전화번호 | 062-602-0808 |